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　　一、当正在镀膜时真空度突然下降

　　1、蒸发源水◤路胶圈损环(更换胶圈)

　　2、坩埚被打穿(更换坩埚)

　　3、高压电极□密封处被击穿(更换胶圈)

　　4、工转动密封处胶圈损坏①(更换胶圈)

　　5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀◣)

　　6、高阀突然关闭可能是↓二位五通阀损坏(更换二位五通阀)

　　7、机械泵停机『可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常模样)

　　8、烘烤引入线电极密封处被☆击穿(更换胶圈)

　　9、挡板动密封处胶圈损ㄨ坏(更换胶圈)

　　10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)

　　二、长期工作的镀膜机♂抽真空的时间很长且ぷ达不到工作真空、恢复真空、极限真空、保真空：

　　1、蒸发】室有很多粉尘(应清冼)

　　2、扩散∩泵很久未换油(应清冼换◤油)

　　3、前级泵反压强太大机械泵真科普知识中讲道空度太低(应清冼换油)

　　4、各动银行车在市西郊废纸厂里密封胶圈损坏(更换胶圈)

　　5、由于□　蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈)

　　6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈)

　　7、各引入座▲螺钉、螺母有无松动现在振作点现象(重新压紧)

　　8、高低预阀在远处是否密封可靠(注油)。

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